Neblux 知識圖譜
微機電系統
微機電系統（MEMS）是一種技術平台，利用光蝕刻製程將微型化機械結構、感測器、致動器與電子電路整合於單一矽基板上。
概觀
MEMS 裝置的特徵尺寸從一微米到數百微米不等，能以極高精度與運動、壓力、溫度、化學濃度和光等物理現象交互作用。體微加工、表面微加工與 LIGA（微影、電鑄與模製）等製程技術在結構複雜性與生產成本之間各有不同的取捨。
為什麼重要
MEMS 打破了感知物理世界與計算處理之間的傳統界限，催生了智慧型手機中的加速度計、汽車安全氣囊中的壓力感測器、助聽器中的麥克風與數位投影機中的微鏡——這些技術已深度嵌入現代基礎設施，其缺席將從根本上改變醫學、交通與通訊。這一平台以晶片規模大量生產物理智慧的能力，代表人類儀器化與互動世界方式的重大進步。