Neblux 知識グラフ
微小電気機械システム
MEMS（微小電気機械システム）は、フォトリソグラフィ製造プロセスを用いて単一のシリコン基板上に小型化された機械構造、センサー、アクチュエーター、電子回路を集積する技術プラットフォームである。
概要
1マイクロメートルから数百マイクロメートルの特徴寸法で動作するMEMSデバイスは、運動・圧力・温度・化学濃度・光などの物理現象と例外的な精度で相互作用する。バルクマイクロマシニング、サーフェスマイクロマシニング、LIGA（リソグラフィ、電気メッキ、モールド）などの製造技術は、構造的複雑さと製造コストの間でそれぞれ異なるトレードオフを提供する。
なぜ重要か
MEMSは物理世界のセンシングとそれについての計算との間の伝統的な境界を取り払い、スマートフォンの加速度計、自動車エアバッグの圧力センサー、補聴器のマイクロフォン、デジタルプロジェクターのマイクロミラーなどを可能にした。これらは現代のインフラに深く組み込まれており、その不在は医療・交通・通信を根本的に変えるだろう。チップスケールで物理的インテリジェンスを量産するプラットフォームの能力は、人間が世界を計測し相互作用する方法における大きな進歩を代表する。